二维扫描振镜

PSH系列二维扫描振镜是专门为高端工业激光加工应用设计的产品,每个部件均经过针对性全方位验证,确保振镜高精度、高速度和低漂移运行。是一套全数字的二维扫描振镜系统,使用先进的控制算法实现振镜马达的高速高精度运行。扫描头输入信号为数字信号,数据传输采用XY2-100国际通用通讯协议。

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    PSH系列二维扫描振镜是专门为高端工业激光加工应用设计的产品,每个部件均经过针对性全方位验证,确保振镜高精度、高速度和低漂移运行。扫描头输入信号为数字信号,数据传输采用XY2-100国际通用通讯协议。

    PSH系列二维扫描振镜具有结构紧凑、坚固防尘、安装方便精确、抗干扰能力强等特点。该系统的设计充分考虑了振镜电机及驱动板的散热问题,确保了长期工作状态下的系统的稳定性。

    优点:

    极低温度漂移≤3 μRad/℃,长时间(8小时以上)温度漂移≤30 μRad

    极高分辨率和重复定位精度,分辨率≤1 μRad,重复定位精度≤2 μRad

    极高速度5m/s
    为了方便您的挑选,我们罗列了以下标准产品型号供您参考。如果在以下列表中找不到的规格,我们热诚欢迎您致电我们的销售工程师以获取您所需要的产品规格及报价!
     
    参数 PSH14-E PSH14 PSH14-H PSH20 PSH20-H PSH30 PSH30-H
    最大输入激光功率(W) 连续:200W@光纤
    脉冲:150W@光纤
    40W@532nm
    30W@355nm
    连续:200W@光纤
    脉冲:150W@光纤
    40W@532nm
    30W@355nm
    连续:1000W@光纤
    脉冲:500W@光纤
    70W@532nm
    50W@355nm
    连续:300W@光纤
    脉冲:200W@光纤
    50W@532nm
    40W@355nm
    连续:3000W@光纤
    脉冲:1500W@光纤
    100W@532nm
    70W@355nm
    连续:2000W@光纤
    脉冲:300W@光纤
     
    连续:6000W@光纤
    脉冲:2500W@光纤
     
    是否水冷/密封 × × × ×
    标准输入光斑 14mm 14mm 14mm 20mm 20mm 30mm 30mm
    有效扫描角度(1) ±10° ±10° ±10° ±10° ±10° ±10° ±10°
    跟踪误差 0.21ms 0.19ms 0.19ms 0.28ms 0.28ms 0.45ms 0.45ms
    小步长阶跃响应时间(满幅的1%) ≤0.45ms ≤0.4ms ≤0.4ms ≤0.6ms ≤0.6ms ≤0.45ms ≤0.45ms
    速度              
    定位/跳转(2) <14m/s <15m/s <15m/s <12m/s <12m/s <9m/s <9m/s
    直线扫描/光栅式扫描(2) <8m/s <10m/s <10m/s <7m/s <7m/s <4m/s <4m/s
    典型矢量扫描(2) <3m/s <4m/s <4m/s <3m/s <3m/s <2m/s <2m/s
    好质量字符(2)(3) 600cps 700cps 700cps 450cps 450cps 260cps 260cps
    高质量字符(2)(3) 450cps 550cps 550cps 320cps 320cps 180cps 180cps
    精度              
    线性度 99.90% 99.90% 99.90% 99.90% 99.90% 99.90% 99.90%
    分辨率 ≤1μrad ≤1μrad ≤1μrad ≤1μrad ≤1μrad ≤1μrad ≤1μrad
    重复定位精度 ≤2μrad ≤2μrad ≤2μrad ≤2μrad ≤2μrad ≤2μrad ≤2μrad
    温度漂移              
    偏置漂移 ≤5μrad/℃ ≤3μrad/℃ ≤3μrad/℃ ≤3μrad/℃ ≤3μrad/℃ ≤3μrad/℃ ≤3μrad/℃
    8小时以上长时间偏置漂移(经15分钟预热后) ≤100μrad ≤30μrad ≤30μrad ≤30μrad ≤30μrad ≤30μrad ≤30μrad
    工作温度 25℃±10℃ 25℃±10℃ 25℃±10℃ 25℃±10℃ 25℃±10℃ 25℃±10℃ 25℃±10℃
    信号接口 模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    模拟: ± 10 V
    数字:XY2–100
    电源电压(DC) ±15V@4A Max RMS ±15V@4A Max RMS ±15V@4A Max RMS ±15V@4A Max RMS ±15V@4A Max RMS ±15V@4A Max RMS ±15V@4A Max RMS

    说明:
    (1) 所有角度均为机械角。
    (2) F-Theta透镜 f = 163mm. 各速度值随着焦距值的变化会相应变化。
    (3) 单笔画1mm字高
    适用于太阳能硅片划片、精密焊接、激光增材制造(3D打印)、高速高精度激光打标、精密钻孔、激光调阻、电子工业微加工、激光清洗、熔覆、热处理、科研等高端工业激光加工领域。

    同时可以根据客户的需求,制定最佳的配置方案,为客户提供最高性价比的产品。